压电线性位移台适用于要求精确定位,完全非磁性或者真空兼容的环境。直接驱动的原理确保运动系统无任何机械间隙或齿隙,具有亚微米级移动精度、分辨率和平滑的线性运动。压电线性位移台具有卓越的精度、快速的响应和占地面积小、重量轻、功率适中等优点。
核磁环境下的设备
航空航天中的精确定位
生物医学领域精密微操作
最大行程70mm,最大速度250mm/s
体积小,重量轻,响应快,无电磁干扰,断电自锁
采用分辨率为0.1μm的直线光栅,利用PID控制技术,重复定位精度可达0.5μm
最大推/拉力可达16 N
运动与定位性能 | |
行程 | 70mm |
单轴速度(max) | 250mm/s |
最小位移量 | 0.5μm |
编码器分辨率 | 0.1μm |
空载时单轴最大推/拉力 | 14~16N |
台子最大负载 | 3.5Kg |
断电自锁力 | 14N |
预紧力 | 72N |
最大横向力 | 16N |
微动台直线度 | ≤3um |
微动台平面度 | ≤4um |
偏角、导航 | 0.02°;0.01° |